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3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

型號： TA

采用閉環伺服控制
可根據設備布局定制臂長及Z軸行程
可選配免電池絕對式編碼器
可選mapping傳感器類型：對射式、反射式
可選末端執行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式

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采用閉環伺服控制
可根據設備布局定制臂長及Z軸行程
可選配免電池絕對式編碼器
可選mapping傳感器類型：對射式、反射式
可選末端執行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式

3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

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3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： TA

采用閉環伺服控制可根據設備布局定制臂長及Z軸行程可選配免電池絕對式編碼器可選mapping傳感器類型：對射式、反射式可選末端執行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式

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